产品
巴布亚新几内亚 AGM系列射频电源自动匹配器一体机
AGM系列全固态射频电源匹配器一体机，依托稳定的AG射频电源及AM自动配器平台，采用领先的集成技术，有效的将电源和匹配系统整合成一体机。紧凑型的设计，在保证射频功率稳定输出的同时，自动匹配系统能够快速的完成匹配，使得产品能够完美的嵌入小型化设备中，最大化节省设备空间。简洁直观的LCD显示屏提供了极速的易操作性，匹配预置点的功能，使得设备能够完美的实现一键操作。
类别：
巴布亚新几内亚产品
巴布亚新几内亚射频自动匹配器
sales@canlee.com
产品描述
KVMEN®AGM系列全固态射频电源匹配器一体机，依托稳定的AG射频电源及AM自动配器平台，采用领先的集成技术，有效的将电源和匹配系统整合成一体机。紧凑型的设计，在保证射频功率稳定输出的同时，自动匹配系统能够快速的完成匹配，使得产品能够完美的嵌入小型化设备中，最大化节省设备空间。简洁直观的LCD显示屏提供了极速的易操作性，匹配预置点的功能，使得设备能够完美的实现一键操作。
特点：
- 紧凑型设计，最小化设备空间
- 更高的操作简易性和灵活性
- 长期稳定运行，简易操作
- 7个可变化的预置点存储和调取
优势：
- 通信:15针和25针两个模拟用户端口选择，RS-232/485
- 多功能前面板
- CEX(相位同步)操作模式
已应用:等离子清洗,射频中和器,磁控溅射,PECVD,CVD,射频感应加热..…..
| 功率输出范围 | 5W-300W |
| 信号频率 | 2Mhz/13.56Mhz/27.12Mhz±0.005% |
| 最大反射功率 | 100W |
| 射频输出接口 | 50Ω,N-type, female |
| 功率稳定度 | 士0.1% |
| 谐波分量 | ≤-50dbc |
| 供电电压 | 单相交流(187V-253V)频率50/60HZ |
| 整机效率 | ≥70% |
| 功率因素 | ≥90% |
| 匹配器最大传输功率 | 500w |
| 反射功率(最大功率时) | <3W |
| 最大负荷电流 | 30ARMS |
| 最大负荷电压 | 7500VRMS |
| RF输出连接器 | L29,或可定制 |
| 匹配时间 | 1-3s |
| 可匹配阻抗实部范围 | 0~80Ω |
| 可匹配阻抗虚部范围 | -j200~~+j100 |
| 冷却方式 | 强制风冷 |
| 整机重量 | 14kg |
| 尺寸 | 132 mm(H)x483 mm(W)x476 mm(D) |