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巴布亚新几内亚 AM系列自动匹配器

AM系列数字式自动匹配器,搭载目前最先进的数字式网络匹配平台,采用快速精准的软件匹配算法,以快速、精确和可重复的方式,将等离子体的复阻抗与您期望的调谐范围进行匹配。数字调谐算法和步进电机驱动可产生更快速,更精准和高重复的响应,始终都保持与负载的阻抗点相契合。可拓展的匹配网络,使得无论是L型还是π型网络都可执行快速精准的自动匹配。

类别:

巴布亚新几内亚产品

巴布亚新几内亚射频自动匹配器

sales@canlee.com

产品描述

KVMEN®AM系列数字式自动匹配器,搭载目前最先进的数字式网络匹配平台,采用快速精准的软件匹配算法,以快速、精确和可重复的方式,将等离子体的复阻抗与您期望的调谐范围进行匹配。数字调谐算法和步进电机驱动可产生更快速,更精准和高重复的响应,始终都保持与负载的阻抗点相契合。可拓展的匹配网络,使得无论是L型还是π型网络都可执行快速精准的自动匹配。

KVMEN®AG系列全固态射频电源搭载稳定的射频攻放系统和直流输出方案,为产品提供极其稳定的射频功率输出。领先的射频技术能够保证射频功率输出时,无论匹配或者失配,均能够得到标准正弦波的功率输出,使得AG系列射频电源既能够搭载AM系列匹配器,也可以接入其他品牌匹配器正常使用。

简洁直观的LCD显示屏提供了极速的易操作性,最大化提高操作者效率,最小化培训成本,可选的外控模式(232/485,模拟口)方案,使得射频电源能够快捷融入自动化设备,实现设备一体化。

特点:

  • 提高生产力、增加产量、降低生产成本
  • 长期稳定的制程时间保证
  • 易于安装和操作

特点:

  • 快速、精确和可重复的阻抗匹配
  • ·最佳的、可直接应用的功能,满足多种应用领域需求
  • 多功率和频率范围
型号AM-1310AM-1315AM-1320AM-1330
最大传输功率0-1000W0-1500W0-2000W0-3000W
信号频率2Mhz/13.56Mhz/27.12Mhz士0.005%
反射功率<3W<5W<10W
调谐时间从预设的预置点到匹配<2秒
调谐范围由内部调谐线圈决定(L型和π型均可)
稳定性在任意稳定负载下电容器位置均无振荡
电容类型双真空电容
射频输出接口L29,铜带硬输出或用户指定
供电电压单相交流(187V-253V)频率50/60HZ
冷却方式强制风冷强制风冷+水冷
整机重量6.5KG7.5KG
尺寸390mm(D)x260mm(W)x131mm(H),或可自定制