产品
巴布亚新几内亚 AM系列自动匹配器
AM系列数字式自动匹配器,搭载目前最先进的数字式网络匹配平台,采用快速精准的软件匹配算法,以快速、精确和可重复的方式,将等离子体的复阻抗与您期望的调谐范围进行匹配。数字调谐算法和步进电机驱动可产生更快速,更精准和高重复的响应,始终都保持与负载的阻抗点相契合。可拓展的匹配网络,使得无论是L型还是π型网络都可执行快速精准的自动匹配。
类别:
巴布亚新几内亚产品
巴布亚新几内亚射频自动匹配器
sales@canlee.com
产品描述
KVMEN®AM系列数字式自动匹配器,搭载目前最先进的数字式网络匹配平台,采用快速精准的软件匹配算法,以快速、精确和可重复的方式,将等离子体的复阻抗与您期望的调谐范围进行匹配。数字调谐算法和步进电机驱动可产生更快速,更精准和高重复的响应,始终都保持与负载的阻抗点相契合。可拓展的匹配网络,使得无论是L型还是π型网络都可执行快速精准的自动匹配。
KVMEN®AG系列全固态射频电源搭载稳定的射频攻放系统和直流输出方案,为产品提供极其稳定的射频功率输出。领先的射频技术能够保证射频功率输出时,无论匹配或者失配,均能够得到标准正弦波的功率输出,使得AG系列射频电源既能够搭载AM系列匹配器,也可以接入其他品牌匹配器正常使用。
简洁直观的LCD显示屏提供了极速的易操作性,最大化提高操作者效率,最小化培训成本,可选的外控模式(232/485,模拟口)方案,使得射频电源能够快捷融入自动化设备,实现设备一体化。
特点:
- 提高生产力、增加产量、降低生产成本
- 长期稳定的制程时间保证
- 易于安装和操作
特点:
- 快速、精确和可重复的阻抗匹配
- ·最佳的、可直接应用的功能,满足多种应用领域需求
- 多功率和频率范围
| 型号 | AM-1310 | AM-1315 | AM-1320 | AM-1330 |
| 最大传输功率 | 0-1000W | 0-1500W | 0-2000W | 0-3000W |
| 信号频率 | 2Mhz/13.56Mhz/27.12Mhz士0.005% | |||
| 反射功率 | <3W | <5W | <10W | |
| 调谐时间 | 从预设的预置点到匹配<2秒 | |||
| 调谐范围 | 由内部调谐线圈决定(L型和π型均可) | |||
| 稳定性 | 在任意稳定负载下电容器位置均无振荡 | |||
| 电容类型 | 双真空电容 | |||
| 射频输出接口 | L29,铜带硬输出或用户指定 | |||
| 供电电压 | 单相交流(187V-253V)频率50/60HZ | |||
| 冷却方式 | 强制风冷 | 强制风冷+水冷 | ||
| 整机重量 | 6.5KG | 7.5KG | ||
| 尺寸 | 390mm(D)x260mm(W)x131mm(H),或可自定制 | |||