产品
巴布亚新几内亚 AG系列射频电源
AG系列全固态射频电源搭载稳定的射频攻放系统和直流输出方案，为产品提供极其稳定的射频功率输出。领先的射频技术能够保证射频功率输出时，无论匹配或者失配，均能够得到标准正弦波的功率输出，使得AG系列射频电源既能够搭载AM系列匹配器，也可以接入其他品牌匹配器正常使用。
类别：
巴布亚新几内亚产品
巴布亚新几内亚射频电源
sales@canlee.com
产品描述
KVMEN®AG系列全固态射频电源搭载稳定的射频攻放系统和直流输出方案，为产品提供极其稳定的射频功率输出。领先的射频技术能够保证射频功率输出时，无论匹配或者失配，均能够得到标准正弦波的功率输出，使得AG系列射频电源既能够搭载AM系列匹配器，也可以接入其他品牌匹配器正常使用。
简洁直观的LCD显示屏提供了极速的易操作性，最大化提高操作者效率，最小化培训成本，可选的外控模式（232/485，模拟口）方案，使得射频电源能够快捷融入自动化设备，实现设备一体化。
特点：
- 更长的制程正常运行时间
- 更高的操作简易性和灵活性·稳定可靠的功放和直流模块方案·长期的使用简易性，节省成本
- 完善的售后服务和支持
- 7个可变化的预置点存储和调取
特点：
- 高效率--低发热量
- 通信:15针和25针两个模拟用户端口选择,RS-232/485多功能前面板
- 便利、全面的操作菜单
- CEX(相位同步)操作模式
已应用:等离子清洗,射频离子源,磁控溅射,PECVD,CVD,射频感应加热.….
| 型号 | AG-1305/6 | AG-1310 | AG-1320 | AG-1330 |
| 输出功率范围 | 5-500W/600W | 5-1000W | 10-2000W | 30-3000W |
| 信号频率 | 2Mhz/13.56Mhz/27.12Mhz+0.005% | |||
| 最大反射功率 | 100W | 200W | 300W | 400W |
| 功率稳定度 | 士1% | |||
| 谐波分量 | ≤-50dbc | |||
| 整机效率 | ≥70% | ≥65% | ||
| 控制方式 | 模拟(15针25针接口可选)数字(232/485) | |||
| 射频输出接口 | 50Ω,N-type或用户指定 | |||
| 供电电压 | 单相交流(187V-253V)频率50/60HZ | 三相交流380V | ||
| 冷却方式 | 强制风冷 | 强制风冷+水冷 | ||
| 整机重量 | 11KG | 17KG | ||
| 尺寸 | 88 mm (H)x483 mm(w)x500 mm(D) | 132 mm(H)x483 mm(W)x500 mm(D) | ||