产品
产品描述
特点：
- 满量程流量可覆盖2sccm-50slm。(N2 EqV.)
- 橡胶密封、金属密封和全金属密封可选，对应不同应用需求。
- 独特传感器设计，极高精度、稳定性及响应速度。
- 光滑的流道设计，使气流的通过更加顺畅。
- 同时兼容RS-485和Modbus RTU通讯协议。
- 可选EtherCAT通讯协议。.
- 可选配多功能LCD数显屏。
- 可选配多气体多量程功能。
- 尺寸(1/4” VCR):131mmx124mmx28mm
| 型号 | A2模拟 |
| 满量程流量(N2换算) | 2SCCM-50 SLM |
| 阀门类型 | 常闭/常开 电磁阀 |
| 密封 | 橡胶密封 金属密封 |
| 响应时间 | ≤0.8秒 |
| 精度 | ≤设定值的+1%6(25%6-100%6) ≤满量程的+0.25%6(0~25%6) |
| 线性 | ≤满量程的士0.5%(>30SLM: <1%6) |
| 重复性 | ≤满量程的士0.1% |
| 操作压力(压差) | 0.05 -0.28 MPa(2 SCCM-5 SLM) 0.1-0.28 MPa (6 SLM-50 SLM) |
| 泄露率 | 橡胶密封:Max 1x10-9Pa.m3/sec(He) 金属/全金属:Max1x10-1lPa.m3/sec(He) |
| 控制范围 | 满量程的2-100%6(MGMR:5-10096) |
| 最大操作压力 | 0.48 MPa |
| 耐压 | 1 MPa |
| 安装方向 | 任意 |
| 通讯方式 | 模拟:DC0-5V/4-20mA |
| 供电类型 | +15VDC/+12VDC-+32VDC |
| 温度 | 5-45 DegC |
| 材料 | 橡胶:SUS316L,Viton,PTFE,电磁不锈钢 金属:SUS316L,Ni,PTFE,电磁不锈钢 全金属:SUS316L,Ni,电磁不锈钢 |
| 重量 | 约0.8KG |