中频磁控溅射镀膜电源

BeacOn系列中频磁控溅射镀膜电源是一种专为中频磁控溅射技术设计的先进电源系统,频率范围20~80kHz(典型值为40kHz)。特别适用于反应溅射和沉积高质量绝缘薄膜或化合物薄膜场合,有效克服了直流磁控溅射在反应溅射中遇到的“靶材中毒”和“电弧放电”问题。
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