中频磁控溅射镀膜电源
- 商品名称： 中频磁控溅射镀膜电源
BeacOn系列中频磁控溅射镀膜电源是一种专为中频磁控溅射技术设计的先进电源系统，频率范围20~80kHz（典型值为40kHz）。特别适用于反应溅射和沉积高质量绝缘薄膜或化合物薄膜场合，有效克服了直流磁控溅射在反应溅射中遇到的“靶材中毒”和“电弧放电”问题。
- 产品描述
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KVMEN®BeacOn系列中频磁控溅射镀膜电源是一种专为中频磁控溅射技术设计的先进电源系统，频率范围20~80kHz（典型值为40kHz）。特别适用于反应溅射和沉积高质量绝缘薄膜或化合物薄膜场合，有效克服了直流磁控溅射在反应溅射中遇到的“靶材中毒”和“电弧放电”问题。
特点：
- ARM+DSP+FPGA的多CPU协同控制平台,可满足客制化需求;
- 专有的电弧检测和灭弧技术，可以对输出电弧进行快速检测和保护;
- 多种不同电压波形输出;
优势：
- 输出电压范围更宽,可满足不同的镀膜工艺要求;
- 独特的热管理设计架构;
- 操作简单,维护便捷;
已应用:磁控溅射,大型真空等离子清洗机,PECVD..….
序号 名称 规格参数 1 电源型号 B1000系列 2 输入电压 1.380士15%;2.三相+PE; 3 输入电流 7A@3*380VAC 4 输入频率 45~64Hz; 5 效率 ≥90%; 6 输出功率 40kW 7 最高输出电压 1000 8 工作电压 500~1000V 9 输出电流 40A 10 输出频率 1.40kHz; 2.可设定; 11 输出控制模式 1.恒功率; 2.恒压; 3.恒流; 12 控制信号方式 1.remote Rs 232
2.remote RS485
3.remote Profibus
4.remote Analog
5.remote EtherCAT
13 输出波形 双极脉冲 14 冷却方式 水冷 15 机械参数 UoutThld 5~100% 16 重量 du Thld 10~100%
dU Break time25~1000us
17 弧保护参数 1.ontime below 1~1000us
2.numberin arow 1~100us
18 灭弧能力 20000arc/sec
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