- 产品描述
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特点：
- 满量程流量可覆盖2sccm-50slm。(N2 EqV.)
- 橡胶密封、金属密封和全金属密封可选，对应不同应用需求。
- 独特传感器设计，极高精度、稳定性及响应速度。
- 光滑的流道设计，使气流的通过更加顺畅。
- 同时兼容RS-485和Modbus RTU通讯协议。
- 可选EtherCAT通讯协议。.
- 可选配多功能LCD数显屏。
- 可选配多气体多量程功能。
- 尺寸(1/4” VCR):131mmx124mmx28mm
型号 A2模拟 满量程流量(N2换算) 2SCCM-50 SLM 阀门类型 常闭/常开 电磁阀 密封 橡胶密封
金属密封
全金属密封响应时间 ≤0.8秒 精度 ≤设定值的+1%6(25%6-100%6)
≤满量程的+0.25%6(0~25%6)线性 ≤满量程的士0.5%(>30SLM: <1%6) 重复性 ≤满量程的士0.1% 操作压力(压差) 0.05 -0.28 MPa(2 SCCM-5 SLM)
0.1-0.28 MPa (6 SLM-50 SLM)泄露率 橡胶密封:Max 1x10-9Pa.m3/sec(He)
金属/全金属:Max1x10-1lPa.m3/sec(He)
控制范围 满量程的2-100%6(MGMR:5-10096) 最大操作压力 0.48 MPa 耐压 1 MPa 安装方向 任意 通讯方式 模拟:DC0-5V/4-20mA 供电类型 +15VDC/+12VDC-+32VDC 温度 5-45 DegC 材料 橡胶:SUS316L,Viton,PTFE,电磁不锈钢
金属:SUS316L,Ni,PTFE,电磁不锈钢
全金属:SUS316L,Ni,电磁不锈钢
重量 约0.8KG
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