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AG系列射频电源

  • 商品名称: AG系列射频电源
AG系列全固态射频电源搭载稳定的射频攻放系统和直流输出方案,为产品提供极其稳定的射频功率输出。领先的射频技术能够保证射频功率输出时,无论匹配或者失配,均能够得到标准正弦波的功率输出,使得AG系列射频电源既能够搭载AM系列匹配器,也可以接入其他品牌匹配器正常使用。

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  • 产品描述
  • KVMEN®AG系列全固态射频电源搭载稳定的射频攻放系统和直流输出方案,为产品提供极其稳定的射频功率输出。领先的射频技术能够保证射频功率输出时,无论匹配或者失配,均能够得到标准正弦波的功率输出,使得AG系列射频电源既能够搭载AM系列匹配器,也可以接入其他品牌匹配器正常使用。

    简洁直观的LCD显示屏提供了极速的易操作性,最大化提高操作者效率,最小化培训成本,可选的外控模式(232/485,模拟口)方案,使得射频电源能够快捷融入自动化设备,实现设备一体化。

    特点:

    • 更长的制程正常运行时间
    • 更高的操作简易性和灵活性·稳定可靠的功放和直流模块方案·长期的使用简易性,节省成本
    • 完善的售后服务和支持
    • 7个可变化的预置点存储和调取

    特点:

    • 高效率--低发热量
    • 通信:15针和25针两个模拟用户端口选择,RS-232/485多功能前面板
    • 便利、全面的操作菜单
    • CEX(相位同步)操作模式

    已应用:等离子清洗,射频离子源,磁控溅射,PECVD,CVD,射频感应加热.….

    型号AG-1305/6AG-1310AG-1320AG-1330
    输出功率范围5-500W/600W5-1000W10-2000W30-3000W
    信号频率2Mhz/13.56Mhz/27.12Mhz+0.005%
    最大反射功率100W200W300W400W
    功率稳定度士1%
    谐波分量≤-50dbc
    整机效率≥70%≥65%
    控制方式模拟(15针25针接口可选)数字(232/485)
    射频输出接口50Ω,N-type或用户指定
    供电电压单相交流(187V-253V)频率50/60HZ三相交流380V
    冷却方式强制风冷强制风冷+水冷
    整机重量11KG17KG
    尺寸88 mm (H)x483 mm(w)x500 mm(D)132 mm(H)x483 mm(W)x500 mm(D)

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