AG系列射频电源
- 商品名称: AG系列射频电源
AG系列全固态射频电源搭载稳定的射频攻放系统和直流输出方案,为产品提供极其稳定的射频功率输出。领先的射频技术能够保证射频功率输出时,无论匹配或者失配,均能够得到标准正弦波的功率输出,使得AG系列射频电源既能够搭载AM系列匹配器,也可以接入其他品牌匹配器正常使用。
- 产品描述
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KVMEN®AG系列全固态射频电源搭载稳定的射频攻放系统和直流输出方案,为产品提供极其稳定的射频功率输出。领先的射频技术能够保证射频功率输出时,无论匹配或者失配,均能够得到标准正弦波的功率输出,使得AG系列射频电源既能够搭载AM系列匹配器,也可以接入其他品牌匹配器正常使用。
简洁直观的LCD显示屏提供了极速的易操作性,最大化提高操作者效率,最小化培训成本,可选的外控模式(232/485,模拟口)方案,使得射频电源能够快捷融入自动化设备,实现设备一体化。
特点:
- 更长的制程正常运行时间
- 更高的操作简易性和灵活性·稳定可靠的功放和直流模块方案·长期的使用简易性,节省成本
- 完善的售后服务和支持
- 7个可变化的预置点存储和调取
特点:
- 高效率--低发热量
- 通信:15针和25针两个模拟用户端口选择,RS-232/485多功能前面板
- 便利、全面的操作菜单
- CEX(相位同步)操作模式
已应用:等离子清洗,射频离子源,磁控溅射,PECVD,CVD,射频感应加热.….
型号 AG-1305/6 AG-1310 AG-1320 AG-1330 输出功率范围 5-500W/600W 5-1000W 10-2000W 30-3000W 信号频率 2Mhz/13.56Mhz/27.12Mhz+0.005% 最大反射功率 100W 200W 300W 400W 功率稳定度 士1% 谐波分量 ≤-50dbc 整机效率 ≥70% ≥65% 控制方式 模拟(15针25针接口可选)数字(232/485) 射频输出接口 50Ω,N-type或用户指定 供电电压 单相交流(187V-253V)频率50/60HZ 三相交流380V 冷却方式 强制风冷 强制风冷+水冷 整机重量 11KG 17KG 尺寸 88 mm (H)x483 mm(w)x500 mm(D) 132 mm(H)x483 mm(W)x500 mm(D)
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