AM系列自动匹配器
- 商品名称: AM系列自动匹配器
AM系列数字式自动匹配器,搭载目前最先进的数字式网络匹配平台,采用快速精准的软件匹配算法,以快速、精确和可重复的方式,将等离子体的复阻抗与您期望的调谐范围进行匹配。数字调谐算法和步进电机驱动可产生更快速,更精准和高重复的响应,始终都保持与负载的阻抗点相契合。可拓展的匹配网络,使得无论是L型还是π型网络都可执行快速精准的自动匹配。
- 产品描述
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KVMEN®AM系列数字式自动匹配器,搭载目前最先进的数字式网络匹配平台,采用快速精准的软件匹配算法,以快速、精确和可重复的方式,将等离子体的复阻抗与您期望的调谐范围进行匹配。数字调谐算法和步进电机驱动可产生更快速,更精准和高重复的响应,始终都保持与负载的阻抗点相契合。可拓展的匹配网络,使得无论是L型还是π型网络都可执行快速精准的自动匹配。
KVMEN®AG系列全固态射频电源搭载稳定的射频攻放系统和直流输出方案,为产品提供极其稳定的射频功率输出。领先的射频技术能够保证射频功率输出时,无论匹配或者失配,均能够得到标准正弦波的功率输出,使得AG系列射频电源既能够搭载AM系列匹配器,也可以接入其他品牌匹配器正常使用。
简洁直观的LCD显示屏提供了极速的易操作性,最大化提高操作者效率,最小化培训成本,可选的外控模式(232/485,模拟口)方案,使得射频电源能够快捷融入自动化设备,实现设备一体化。
特点:
- 提高生产力、增加产量、降低生产成本
- 长期稳定的制程时间保证
- 易于安装和操作
特点:
- 快速、精确和可重复的阻抗匹配
- ·最佳的、可直接应用的功能,满足多种应用领域需求
- 多功率和频率范围
型号 AM-1310 AM-1315 AM-1320 AM-1330 最大传输功率 0-1000W 0-1500W 0-2000W 0-3000W 信号频率 2Mhz/13.56Mhz/27.12Mhz士0.005% 反射功率 <3W <5W <10W 调谐时间 从预设的预置点到匹配<2秒 调谐范围 由内部调谐线圈决定(L型和π型均可) 稳定性 在任意稳定负载下电容器位置均无振荡 电容类型 双真空电容 射频输出接口 L29,铜带硬输出或用户指定 供电电压 单相交流(187V-253V)频率50/60HZ 冷却方式 强制风冷 强制风冷+水冷 整机重量 6.5KG 7.5KG 尺寸 390mm(D)x260mm(W)x131mm(H),或可自定制
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