AGM系列射频电源自动匹配器一体机
- 商品名称： AGM系列射频电源自动匹配器一体机
AGM系列全固态射频电源匹配器一体机，依托稳定的AG射频电源及AM自动配器平台，采用领先的集成技术，有效的将电源和匹配系统整合成一体机。紧凑型的设计，在保证射频功率稳定输出的同时，自动匹配系统能够快速的完成匹配，使得产品能够完美的嵌入小型化设备中，最大化节省设备空间。简洁直观的LCD显示屏提供了极速的易操作性，匹配预置点的功能，使得设备能够完美的实现一键操作。
- 产品描述
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KVMEN®AGM系列全固态射频电源匹配器一体机，依托稳定的AG射频电源及AM自动配器平台，采用领先的集成技术，有效的将电源和匹配系统整合成一体机。紧凑型的设计，在保证射频功率稳定输出的同时，自动匹配系统能够快速的完成匹配，使得产品能够完美的嵌入小型化设备中，最大化节省设备空间。简洁直观的LCD显示屏提供了极速的易操作性，匹配预置点的功能，使得设备能够完美的实现一键操作。
特点：
- 紧凑型设计，最小化设备空间
- 更高的操作简易性和灵活性
- 长期稳定运行，简易操作
- 7个可变化的预置点存储和调取
优势：
- 通信:15针和25针两个模拟用户端口选择，RS-232/485
- 多功能前面板
- CEX(相位同步)操作模式
已应用:等离子清洗,射频中和器,磁控溅射,PECVD,CVD,射频感应加热..…..
功率输出范围 5W-300W 信号频率 2Mhz/13.56Mhz/27.12Mhz±0.005% 最大反射功率 100W 射频输出接口 50Ω,N-type, female 功率稳定度 士0.1% 谐波分量 ≤-50dbc 供电电压 单相交流(187V-253V)频率50/60HZ 整机效率 ≥70% 功率因素 ≥90% 匹配器最大传输功率 500w 反射功率(最大功率时) <3W 最大负荷电流 30ARMS 最大负荷电压 7500VRMS RF输出连接器 L29,或可定制 匹配时间 1-3s 可匹配阻抗实部范围 0~80Ω 可匹配阻抗虚部范围 -j200~~+j100 冷却方式 强制风冷 整机重量 14kg 尺寸 132 mm(H)x483 mm(W)x476 mm(D)
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