AG系列射频电源

AG系列全固态射频电源搭载稳定的射频攻放系统和直流输出方案,为产品提供极其稳定的射频功率输出。领先的射频技术能够保证射频功率输出时,无论匹配或者失配,均能够得到标准正弦波的功率输出,使得AG系列射频电源既能够搭载AM系列匹配器,也可以接入其他品牌匹配器正常使用。

AM系列自动匹配器

AM系列数字式自动匹配器,搭载目前最先进的数字式网络匹配平台,采用快速精准的软件匹配算法,以快速、精确和可重复的方式,将等离子体的复阻抗与您期望的调谐范围进行匹配。数字调谐算法和步进电机驱动可产生更快速,更精准和高重复的响应,始终都保持与负载的阻抗点相契合。可拓展的匹配网络,使得无论是L型还是π型网络都可执行快速精准的自动匹配。

AGM系列射频电源自动匹配器一体机

AGM系列全固态射频电源匹配器一体机,依托稳定的AG射频电源及AM自动配器平台,采用领先的集成技术,有效的将电源和匹配系统整合成一体机。紧凑型的设计,在保证射频功率稳定输出的同时,自动匹配系统能够快速的完成匹配,使得产品能够完美的嵌入小型化设备中,最大化节省设备空间。简洁直观的LCD显示屏提供了极速的易操作性,匹配预置点的功能,使得设备能够完美的实现一键操作。

KERNEL系列射频电源

KERNEL系列射频电源采用半柜式设计,适应于设备紧凑化,全新功率放大器设计,保证了射频功率更稳定高效的输出,内置反射功率保护模块,使得功率输出在失配的情况下能够有效的保护电源不易受损坏。全新研发的电源软件平台,使得功率爬升更快,功率控制更精准,完全避免功率爬升或者功率失配情况下过冲现象。

中频磁控溅射镀膜电源

BeacOn系列中频磁控溅射镀膜电源是一种专为中频磁控溅射技术设计的先进电源系统,频率范围20~80kHz(典型值为40kHz)。特别适用于反应溅射和沉积高质量绝缘薄膜或化合物薄膜场合,有效克服了直流磁控溅射在反应溅射中遇到的“靶材中毒”和“电弧放电”问题。

中频高压等离子清洗电源

KVMEN®Astral中频高压等离子清洗电源,专为DBD宽幅等离子枪设计的智能电源系统,采用中频激励技术(20-80kHz)对工艺气体进行高效电离,生成高密度的低温等离子体,达到清洗产品表面污染物,提高表面活性,增强表面附着性能。支持功率、频率、占空比三轴联调,可针对不同基材(金属/陶瓷/高分子聚合物)实现工艺参数优化。产品具备过压、过流、过温等多重安全保护机制,保障设备安全。

大气常压等离子清洗电源

KVMEN®Astral大气常压等离子清洗电源,专为射流等离子枪设计的智能电源系统,采用中频激励技术(20-80kHz)对压缩空气进行高效电离,生成高密度的低温等离子体,达到清洗产品表面污染物,提高表面活性,增强表面附着性能。支持功率、频率、占空比三轴联调,可针对不同基材(金属/陶瓷/高分子聚合物)实现工艺参数优化。产品具备过压、过流、过温等多重安全保护机制,保障设备安全。
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